小型空冷ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ NeoDry シリーズ
更新日:
6年に一度のメンテナンスサイクルを実現！
・チップシール交換・性能劣化・摩耗粉無し！
・油煙の発生、真空チャンバーの汚染無し！
・スクロール・ロータリーポンプの置き換えが簡単！
・水蒸気および溶剤等の凝縮性ガスが排気可能！
概要・特長
樫山工業の製品は、半導体や液晶の製造分野をはじめ、最先端の幅広い分野のお客様から高い信頼を得ています。その信頼の基盤となるのが、長年に亘り培ってきた真空技術です。特に、半導体製造プロセスにおいてスタンダードとなっている一連のドライポンプのシリーズは、この真空技術の集大成ともいえる製品で、最も困難なプロセスで最も優れた信頼性を発揮するとお客様から高い評価を頂いています。
6年に一度のメンテナンスサイクル
内部構造
種類・価格
購入価格、評価機については、当サイトのお問合せフォームか、弊社営業員までお問合せください。
定格・性能
主要型式
| 仕様 / 型式 | NeoDry7E | NeoDry15E | NeoDry30E | NeoDry36E | NeoDry60E | NeoDry100E | NeoDry300E |
| 最大排気速度 [L/min] |
110 | 250 | 500 | 600 | 1,000 | 1,670 | 5,000 |
| 到達圧力 [Pa] （ガスバラスト機構未使用時） |
5.0 | 1.0 | 2.0 | 0.3 | |||
| 電源電圧 (50/60Hz) *1 |
単相AC100～120V 単相AC200～240V |
単相AC100～120V, 単相AC200～240V 3相AC200～240V |
単相AC200～240V 3相AC200～240V |
||||
| ガスバラスト機構 | 標準採用 | オプションで設定可能（N2導入可） | 標準採用 | ||||
| 最大水蒸気処理量[g/h] （ガスバラスト機構使用時） |
120 | 250 | 350 | 600 | |||
| 騒音値 [dB(A)] （吸気口全閉時） |
≦56 | ≦58 | ≦60 | ≦55 | ≦72 | ||
| 振動値 [μmp-p] （吸気口全閉時） |
≦8 | ||||||
| 質量 [kg] | 19 | 23 | 25 | 54 | 56 | 90 | 125 |
| 吸気口径 | NW25 | NW40 | NW50 | ||||
| 排気口径 | NW25 | ||||||
| 外観寸法 [mm] L×W×H *2 |
360×196 ×219 |
385×210 ×250 |
410×210 ×250 |
475×298 ×275 |
530×315 ×275 |
576×320 ×342 |
574×304 ×575 |
*1. 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談下さい。
*2. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*海外規格対応についてはお問い合わせ下さい。また、上記に関しては予告なく変更される可能性があります。
排気性能曲線
*排気性能曲線は組合せにより変更となります。
緑屋テクノ株式会社は樫山工業株式会の代理店です。